日前，佳能正式发售适用于i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”※1和KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”※2的新产品——“200mm Option”。
在存储器和微处理器等半导体元件的制造领域，需要采用先进的微细加工技术，目前通常采用的是300mm晶圆规格。随着物联网应用和车载设备的迅速普及，该领域的半导体元件市场需求也不断扩大，而这个领域的半导体元件需要利用成熟的工艺进行多品种少量的生产，因此元件制造厂商迫切需要能够应对200mm晶圆需求的设备。
佳能发布对应200mm晶圆需求的新品配件"200mm Option"，能够通用于i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”、KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”,更广泛地满足客户需求。
通过配备“200mm Option”，在200mm晶圆规格下，“FPA-5550iZ2”和“FPA-6300ES6a”最快曝光处理速度分别达到每小时230片※4和每小时255片※5。在实现了同级别光刻机中高水准生产效率的同时也满足了降低CoO※6（半导体制造设备投资和使用所需成本）的需求。
“FPA-5550iZ2”、“FPA-6300ES6a”自发售以来，由于使用了安全、高品质的统一平台,?因此能够为运行中的设备提供解决方案，为提高生产效率和重合精度实现持续升级。
为不断满足客户提高生产效率的需求，佳能今后也会持续地为半导体光刻机提供更加多样化的解决方案和升级服务。
佳能自1937年创业以来，始终秉承“共生”的企业理念，以创造世界一流产品为奋斗目标，向多元化和全球化发展。目前，佳能的事业以光学技术为核心，涵盖了办公产品、影像系统产品、医疗系统业务以及产业设备及其他产品等广泛领域。
另外，自2012年4月发售KrF半导体光刻机和2016年12月发售i线半导体光刻机以来，佳能在存储器、逻辑电路、图像传感器等物联网和车载半导体元件生产制作等方面的优势，备受业界好评。
佳能发售两种通用新品配件
佳能正式发售适用于i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”※1和KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”※2的新产品——“200mm Option”。
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